如何理解真空機(jī)組與真空系統(tǒng)
真空機(jī)組是由真空泵、各種管路、集成傳感器、真空表、測量裝置、電氣控制系統(tǒng)等一系列的配套真空輔助設(shè)備構(gòu)成，根據(jù)主泵的類型來命名，以真空應(yīng)用范圍分為低真空機(jī)組、中真空泵機(jī)組、高真空機(jī)組及超高真空機(jī)組。
1）低真空機(jī)組一般采選直排大氣型的真空泵，如容積式的往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機(jī)械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等，低真空機(jī)組工作壓力高、排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機(jī)真空脫氣等。
2）中真空機(jī)組由羅茨真空泵+油封機(jī)械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿無油真空泵廣泛使用，羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機(jī)組也逐漸增多，適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。
3）高真空機(jī)組工作于分子流狀態(tài)下，工作壓力區(qū)間在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，主泵由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵為主，如遇低溫冷凝泵無法直接在大氣下工作，需配置前級(jí)泵、預(yù)抽泵等，為防止氣壓波動(dòng)還配置維持泵與儲(chǔ)氣罐等。
4）超高真空機(jī)組壓力區(qū)間在10-6～10-10Pa，主泵的極限真空要在10-7～10-8Pa以上,壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速，對(duì)系統(tǒng)組成的材料要求能經(jīng)受200～450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率。
真空機(jī)組系統(tǒng)是對(duì)真空機(jī)組中關(guān)鍵參數(shù)如"真空度(負(fù)壓或增壓)"、"流量"等數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測、自動(dòng)調(diào)整，如完成"真空保壓"、"自動(dòng)定時(shí)停機(jī)、啟動(dòng)"、定時(shí)定量"真空抽濾"等的功能性控制系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)。
真空機(jī)組與系統(tǒng)作為實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化的一種手段,己在電子、半導(dǎo)體元件組裝、汽車組裝、自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械、輕工機(jī)械、醫(yī)療機(jī)械、印刷機(jī)械、塑料制品機(jī)械、包裝機(jī)械、鍛壓機(jī)械、機(jī)器人等許多方面得到廣泛的應(yīng)用。
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2）中真空機(jī)組由羅茨真空泵+油封機(jī)械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿無油真空泵廣泛使用，羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機(jī)組也逐漸增多，適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。
3）高真空機(jī)組工作于分子流狀態(tài)下，工作壓力區(qū)間在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，主泵由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵為主，如遇低溫冷凝泵無法直接在大氣下工作，需配置前級(jí)泵、預(yù)抽泵等，為防止氣壓波動(dòng)還配置維持泵與儲(chǔ)氣罐等。
4）超高真空機(jī)組壓力區(qū)間在10-6～10-10Pa，主泵的極限真空要在10-7～10-8Pa以上,壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速，對(duì)系統(tǒng)組成的材料要求能經(jīng)受200～450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率。
真空機(jī)組與系統(tǒng)作為實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化的一種手段,己在電子、半導(dǎo)體元件組裝、汽車組裝、自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械、輕工機(jī)械、醫(yī)療機(jī)械、印刷機(jī)械、塑料制品機(jī)械、包裝機(jī)械、鍛壓機(jī)械、機(jī)器人等許多方面得到廣泛的應(yīng)用。
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